Kosaka 粗糙度輪廓儀特點與優勢返回列表
微細形狀測定機(臺階儀)Step Height Measuring System
ET150K31 組合
產品特性
· 設備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震
· 獨特的直動式傳感器設計
· Z方向重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm
· Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
· 樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
· 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測量長度100mm，Y方向最大移動150mm
· 自帶三維測量功能
ET150K31的結構
花崗巖低重心設計
極佳重復性與線性度
采用直動式檢測方式
可避免圓弧補正誤差
可避免Bearing間隙誤差
臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm
Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
直動式檢出器構造
直動式檢出器測量邊沿效應
重復測量數據 (10 times)
Taylor Hobson 標準樣
直動式檢出器測量邊沿效應
線性度
Vertical linearity(垂直線性度) : ±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
線性度計算公式： 誤差范圍 / Z方向測量范圍
測量設備型號 : ET-150系列
測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的標準樣品
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm
VLSI SHS-9400QC
VLSI SHS-440QC
高分辨率
縱軸最高分辨率0.1nm
橫軸最高分辨率0.1um
X測定速度可調：5μm~2mm/s
可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等
超高垂直直線度
垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度
可追溯性：通過ISO9000國際認證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產品出廠皆有出廠測試認證報告
超高垂直直線度精度保證： 局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力
超高垂直直線度的優勢
ET150K31絕佳的設計，達到出色的測量效果
設備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震
出色的測量穩定性和設備穩定、耐用性
直動式檢測器
出色的測量重復性&線性度，確保各樣品臺階測量的精度、準確度
樣品臺超高的垂直直線度保證
進一步提高臺階測量精度，確保樣品形狀不變形
樣品臺X方向光柵尺定位，最長測量距離100mm，最快測量速度5μm/s
樣品周期性結構不失真，長距離有利于測定多種國際參數
實時監控測量位置
超高直線度國際認證數據
位移光柵尺與時間取樣
形狀及粗度解析
粗度規范對應：可對應各種國際新舊標準規范，測量參數多達60種;可測量臺階及傾斜度。
超大測定力范圍
測定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設定可測定軟質材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等
觸針保護蓋板及方便更換
