探針臺怎么使用？方法是什么？返回列表

2022-03-12 英鉑科學儀器（上海）有限公司

1 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2 運用卡盤X軸 Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

探針臺怎么使用？方法是什么？

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。

2.運用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調理明晰,帶測點在顯微鏡視場中心。

4.待測點地位確認好后,再調理探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的地位旁邊,再運用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,漸漸的將探針移至被測點,此時舉措要小心且遲緩，以防舉措過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針行進少許，再運用Z軸旋鈕停止下針，最初則運用X軸旋鈕左右滑動，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經接觸。

5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以經過銜接的測試設備開端測試。