MPI 手動晶圓級太赫茲探針臺系統TS150-AIT/TS200-THZ/TS150-THZ返回列表
TS150-AIT和TS200-THZ探針系統專為新興的THz應用而設計，例如高速5G通信，衛星，非侵入性光譜，醫療保健設備以及短距離汽車雷達等，其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調諧器集成。這兩個系統可結合毫米波，太赫茲(THz)和自動阻抗調諧器應用的要求，以較佳的測量方向性提供準確的測試。
可高達1.5THz的帶寬、差分或寬帶擴頻器和/或自動阻抗調諧器的無縫集成;
擴展器/調諧器集成的新穎設計，可實現較佳的測量動態;
出色的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作。
卡盤移動系統
TS150-THZ具有10mm的精確卡盤Z調整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案進行設置時極為有利，可以輕松快速地進行設置。
MicroPositioners的多種配置
專用且極堅固的探針壓板設計可容納兩個東西方向固定的MP80大面積MicroPositioner。 通過將兩個南北“電橋”作為標準配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。
探針座系統
獨特的MP80-DX具有低至1µm精確的清晰度，搭配三豐數顯千分尺。
成像系統
可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學變焦高達12倍，工作距離超過45毫米。由于集成測試頭/調諧器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應用。
MPI TS150-THZ是150 mm高頻專用探針臺，旨在對基板和150 mm晶圓進行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應用，例如高達1.5THz的寬帶，帶狀波導，次THz，負載牽引和RF噪聲。它提供了無與倫比的功能：
• 無縫集成任何高達1.5 THz的寬帶，差分或寬帶擴頻器
• 出色的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作
• 最小化測量路徑以獲得較佳的測量方向性
氣浮式移到系統
MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手定標器控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性，同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。
卡盤Z調整
TS150-THZ具有10mm的精細卡盤Z調整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案的設置非常有利，可以輕松快速地進行設置。
微型定位器
專用的極剛性探針臺板設計可容納兩個東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過將兩個南北“電橋”作為標準配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。
MP80-DX
市場上另一個MPI開拓性解決方案——獨特的MP80-DX，具有低至1µm的簡單、精確的精確度，是精確且經濟高效的多線TRL的理想選擇，即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內唯一的RF校準方法。有關更多詳細信息，請訪問 MPI QAlibria® 軟件。
