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高功率探針臺系統TS150-HP & TS200-HP

MPI大功率器件表征系統是專門為晶圓上大功率器件測試而設計的。MPI TS150-HP和TS200-HP探針系統提供了完整的150mm和200mm晶圓上解決方案，可在較寬的溫度范圍內實現功率半導體的低接觸電阻測量。

單機多應用設計

• 適用於高功率器件量測和其他多中晶圓級測試應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS)工效學與安全設計

• 方便單手操作的快速釋放拖移氣浮載物臺設計

• 堅固且可乘載多達 10 支高電壓 HV 或 4 支大電流HC 微定位器的工作臺

• 電磁屏蔽箱和工作臺電弧屏蔽 ArcShieldTM設計，為高電壓量測提供安全防護

• 支持較寬我溫度范圍：20℃至300℃

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