高低溫真空微波探針臺的技術指標及主要功能返回列表

高低溫真空微波探針臺是一種用于電子與通訊技術范疇的工藝實驗儀器，于2016年10月16日啟用。

高低溫真空微波探針臺技術指標

1、六個探針臂接口，可以裝置六個探針臂。

2、一個CF40 真空抽氣口，一個疾速破真空進氣口。

3、載物Chuck 溫度范圍：4K-500K ;CF法蘭接口，零碎極限真空優于5*10-6Pa。

4、漏率優于：1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動，行程：25.4mm，定位精度：10μm。

5、雙屏蔽chuck高低溫時到達100FA 的測試精度。

高低溫真空微波探針臺主要功能

可以完成樣品在高溫真空環境的測試，完成樣品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K恣意溫度點的準確電學測量，可完成直流和微波(40GHz)的測量。

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